光刻机霸主令美国员工禁止为中国服务 内部邮件曝光

10月12日，据《 EETimes China》报道，科磊的中国工作人员收到一封来自美国总部法务部门的电子邮件，为配合拜登政府的新禁令，科磊决定从北京时间11日晚11点59分起，停止向中国先进晶圆厂销售128层或更高堆栈的NAND闪存、18纳米或更先进工艺的DRAM芯片、以及先进逻辑芯片，亦不提供相关服务。同样受到影响的美国的泛林集团（Lam）以及应用材料公司（Applied Materials），日本的东京威力科创（TEL）。

本次禁令还对美资企业在华的工程师做出了限制……

近日美国政府对中国的芯片禁令再度升级引发关注，除了防堵高端AI芯片销售到中国，范围还进一步延伸至内存、半导体设备领域，展开全面性的“卡脖子”。外媒消息指出，半导体设备制造商科磊（KLA Corporation）已在今（12）日停止向中国客户供货。 

路透社报道，上周五（10月7日），拜登政府对中国半导体产业祭出更严格的出口限制令，要求企业必须向美国商务部申请许可，才能将用于AI和超级计算（Supercomputing）的先进芯片及相关半导体设备出售给中国业者，理由是“防止用于军事”。具体针对三种先进技术做限制：

（1）14及16 纳米以下的逻辑芯片；

（2）18纳米或以下的 DRAM 芯片；

（3）128 层以上 NAND Flash 芯片。

此举令全球芯片制造商和芯片设备制造商面临巨大的商业困境，连续几天全球高端芯片厂商AMD、英特尔、英伟达、半导体设备厂商以及台积电、三星等头部晶圆代工厂股价暴跌。

科磊已暂停服务中国客户

路透社引述知情人士透露，科磊的中国工作人员收到一封来自美国总部法务部门的电子邮件，为配合拜登政府的新禁令，科磊决定从北京时间11日（周二）晚上11点59分（格林威治时间15点59分）起，停止向中国先进晶圆厂销售128层或更高堆栈的NAND闪存、18纳米或更先进工艺的DRAM芯片、以及先进逻辑芯片（具体为14nm及以下），亦不提供相关服务。

数日前就曾有外媒报道称，科磊已经收到美国政府发出的一份备忘录，科磊董事长兼CEO Rick Wallace证实了这一消息。不过当时科磊被指禁运的半导体设备只和先进工艺有关，也就是对14nm及以下的先进工艺产品进行限制，而从最新消息来看，先进存储芯片也在制裁之列。

“我们的高层管理团队已经告诉我们要放松几个月。”这位知情人士对路透社说。

科磊是全球五大半导体设备生产商之一，总部位于美国Milpitas，全职雇员12,300人。公司以半导体检测设备闻名，拥有晶圆检测与光罩检测系统。根据科磊公布的财报资料，中国大陆市场是科磊最大营收来源，2021年该公司四分之一左右的营收来自中国大陆地区的客户。

在公司最新一季的财报中，2022会计年度第四季（截至2022年6月），中国大陆市场贡献的营收达26.6亿美元，营收贡献度将近30%。在财报会上，Rick Wallace就已经提到，“考虑到中国大陆市场的高占比，我们会表示担忧。”

不过，他也指出，科磊的经营模式具有弹性，大部分尚未运往中国内地的产品都可以方便地向非中国内地的消费者直接供应，所以尽管短期内存在供应和需求上的偏差，但对中国大陆的禁令不会对科磊造成太大的影响。

ASML、泛林、应材、东电等也受到影响

同样受到影响的美国的泛林集团（Lam Research Corp）以及应用材料公司（Applied Materials Inc），荷兰的阿斯麦（ASML）和日本的东京威力科创（TEL）这些顶级设备制造商。

泛林集团泛林集团创办于1980年，主要设计和构建半导体制造设备，涵盖薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻胶玻璃和芯片清洗工艺；

应用材料创立于1967年，总部位于美国加州圣克拉拉，全职雇员30,100人，是全球精密材料工程的领导厂商，提供全球半导体、平面显示器、太阳能光电（PV）等行业所需的相关设备及服务，是目前全球最大的半导体设备和服务供应商；

东京威力科创成立于1963年，主要产品为半导体成膜设备、半导体蚀刻设备和用来制造平板显示器液晶的设备。 同类产品比重在日本占第一位，在世界上占第二位。

这些厂商的产品，都是生产芯片的关键。

据未透露名字的半导体设备公司高层及中国半导体IDM业内人士透露，外国设备商均被要求停止向制造先进芯片的中国独资工厂发货，在中国驻点的人力均已暂时停止提供中国半导体制造厂服务，后续更可能将全面撤出中国半导体企业。

一位消息人士表示，工程师被要求只能留在办公室，不能再进入到中国厂区服务，不准贩售设备，也不能提供服务及设备的维护支援，甚至“连客户电话都不能接！”

光刻机大厂阿斯麦 （ASML） 下令美国员工依循拜登政府的最新规范，停止为中国客户提供服务。一份内部邮件显示，ASML 要求其在美国的员工，避免直接或间接为中国客户提供服务、出货或是其他支持，公司仍在积极评估哪些特定晶圆厂可能受到新规影响。

上述命令适用于 ASML 所有美国员工，包含美国公民、绿卡持有者以及居住在当地的海外人士。

可见作为一家非美系的全球半导体设备业者，ASML 也必须在中美之间取得平衡。该公司一直都有向中国客户供应深紫外光 （DUV） 设备，但未提供更先进的极紫外光 （EUV） 机台。

ASML 发言人 Monique Mols 证实上述邮件消息，但也表示公司没有计划公开这个消息，未来将采取预防措施，确保能全面遵守出口管制新规。

根据CINNO Research的最新数据显示，2022年上半年全球半导体设备厂商TOP 10分别为：应用材料、阿斯麦、泛林、Tokyo Electron、科磊、迪恩士、爱德万测试、ASM国际、迪斯科。

其中，美国厂商占据了大半壁江山，并且全球最大的半导体设备商应用材料也是美国的，该公司产品类别更加丰富，包括薄膜沉积（CVD、PVD 等）、离子注入、刻蚀、快速热处理、化学机械平整（CMP）、测量检测等设备。

近年来，中国加大半导体产业投入，尤其是半导体制造业发展迅速，购买了大量设备，使得外资半导体设备厂在中国地区的营收占比持续增加，大部分都在30%左右。根据各公司财报数据，2021年自然年度，应用材料来自中国大陆地区的营收占比最高，达到了约33.8%；泛林集团来自中国大陆地区的营收占比也是最高的 的，达到了33%；科磊来自中国大陆的营收占比也达到了27%，一旦执行禁令，对这些外资厂商影响更大。

除了对设备和技术的限制，本次禁令还对美资企业在华的工程师做出了限制，具体做法各家不一。据一位在国内头部存储器厂商支持的美国半导体设备工程师透露，应用材料的工程师目前仍在照常支持在华业务，泛林则是在美国东部时间12日具体细则出来前可以继续支持，12日之后就不行了。他表示，这次禁令后，美资半导体设备厂商肯定会在中国大陆裁员，不少美籍工程师已经陆续办理离职手续，“只有放弃美国国籍和离职两种选择。”

还有一个与之前禁令不一样的地方，就是10月7日之前国内晶圆厂商下的设备订单也不可以交付。这位业内人事表示，“订单即使付了钱也不可以交付，预付款会退回去。”

在华外资晶圆厂申请豁免

上述知情人士还表示，除了中国本地半导体业者外，限制对象还包括在中国设厂的美国英特尔、韩国SK海力士等外商半导体业者。

据英国《金融时报》4日报道，知情人士指出，外国企业若不配合美国的“安全贸易”（secure trade）及其他出口管制原则，将会被列入“实体清单”（entity list）的警示单。

路透社此前报道称，在中国开设工厂、希望获得先进芯片制造设备的外国公司，其许可证申请将被逐一审查，审查标准为“推定禁止原则”（Presumption of denial）。就是要有证据证明交易行为不会对美国国家安全及外交政策产生不利影响，否则一律拒绝发放许可。

对此，SK海力士今（12）日再次发布公告声明，公司获得美国最新出口管制规则申请设备许可证，可在无需额外许可要求的情况下向在中国的工厂供应研发和生产DRAM半导体所需的设备和组件，为期一年。

美国也给予了三星电子同样的临时豁免。据韩媒报道，美国政府在准备出口管制措施的过程中就与韩国共享了内容，韩国政府为了不让三星和SK海力士在中国大陆工厂的运营出现问题，因此与美国方面进行了密切协商。韩方要求美方确保韩国企业在大陆正在进行升级的半导体制造项目不要出现问题。

由于美国正在积极推动与韩国、日本、中国台湾组件“芯片四方联盟”（CHIP 4），而韩国目前还因为不想失去最大的中国市场在犹豫，所以在双方的磋商过程中，美国政府也向韩国政府转达了“不会对跨国公司的半导体生产造成干扰”的立场。

另据消息人士，英特尔位于大连的存储工厂（SK海力士收购后尚未完全交割）获得了美国商务部的许可。 

中国方面，两家领先的内存芯片制造商、半导体设备供应商以及多家合同制芯片制造商均受美国新规影响。

当下，所有晶圆厂的所有主要供应商都在彻夜评估美国这项新限制带来的长期影响，另一位来自外资半导体制造设备公司的知情人士告诉路透社，芯片工厂的所有主要供货商都在加班加点地评估该法规的长期影响，“一开始我们都反应过度，而法律团队会为每一个可能受到影响的软件和设备制定细节。”

外交部回应美国限制：只会封锁自己，反噬自身！

中国外交部发言人毛宁8日就美国出台的一系列新规，以及将31家中国公司、研究机构和其他团体列入所谓“未经核实的名单”，限制它们获得某些受监管的美国半导体技术的能力做出回应。

“美国出于维护科技霸权的需要，滥用出口管制措施，对中国企业进行恶意的封锁和打压，这种做法背离公平竞争原则，违反国际经贸规则，不仅损害中国企业的正当权益，也将影响美国企业的权益。”毛宁强调，这种做法阻碍国际科技交流和经贸合作，对全球产业链供应链的稳定和世界经济恢复都会造成冲击。美方将科技和经贸问题政治化、工具化、武器化阻挡不了中国发展，只会封锁自己，反噬自身。

半导体研究机构芯谋研究（ICwise）首席分析师顾文军认为，美国“铁了心”把芯片作为遏制中国的工具，“无所不用其极，不达目的决不罢休，没有任何和解的可能。”他表示，美国不断扩大制裁范围和制裁力度已经是一种新常态，虽然制裁的边际效应在减弱，但即便伤及美国企业，美国政府也毫不在意。我们要放下“伤敌一千自损八百”，以及美国制裁总有个限度的臆测。

路透社认为，现在美国正忙不迭地应付对中国实施新半导体限制引发的连带后果，这些后果将损害全球半导体供应链。

一位美国官员对此表示了担忧：“我们认识到，如果其他国家不加入我们，我们实施的单边控制将随着时间的推移失去效力。 如果外国（半导体设备厂商）竞争对手不受类似控制，我们就有可能损害美国的技术领先地位。”

美国企业研究所国防政策专家埃里克·塞耶斯表示，此举反映了拜登政府的新举措，即遏制中国的进步，而不是简单地寻求公平竞争。 “规则的范围和潜在的影响是相当惊人的，但魔鬼当然会在实施的细节中，”他补充说。